Описание:

В современной технологии исследования и обработки материалов все большее внимание уделяется квантовым методам, предполагающим использование управляемых пучков частиц для модификации, резки или формирования поверхностей с заданным рельефом.

В настоящее время наибольшую популярность получили методы, основанные на использовании сфокусированных потоков ионов. Чаще всего для этой цели используются ионы галлия, которые, будучи сфокусированными в тонкий пучок, в ряде случаев позволяют, помимо модификации поверхности, еще и визуализировать наноразмерную морфологию даже лучше, чем традиционная электронная микроскопия. Совмещение в одном приборе как ионного, так и электронного источников делают этот прибор универсальным исследовательским и технологическим инструментом, хотя и имеющим намного более высокую стоимость, чем обычный растровый электронный или ионный микроскоп.

 Таким образом, сфокусированные пучки ионов в настоящее время используются для:

• визуализации наноразмерных поверхностей
• ионной резки, с целью исследования внутренней структуры образца, исследовании внутренних дефектов
• высокоточная ионная обработка, включая ионную полировку, при изготовлении деталей микромеханизмов, оптики высших классов точности (точности долей длины волны), в микро- и наноэлектронике и др.
• для изготовления элементов различных прецизионных систем с заданной микро- и нанотопографией рельефа поверхности
• для пробоподготовки в просвечивающей электронной микроскопии атомарного разрешения

Teneo - высочайшая производительность для получения изображений с высоким разрешением и аналитических приложений.

Teneo обеспечивает получение контрастных изображений с высоким разрешением для материалов, которые в обычных условиях трудно исследовать – магнитные материалы, стекла и другие непроводящие образцы. Это позволяет быстро решать поставленные задачи, одновременно сохраняя высочайшую эффективность при работе с традиционными образцами SEM.

 

 

Ключевые особенности

• Получайте больше данных с неудобных образцов: Лучшие в свое классе разрешение и контраст обеспечивают получение большее количество данных и информации, даже для магнитных материалов.
• Решайте задачи быстрее: Высокая пропускная работа в режиме высокого вакууме и низкого вакуума при токе пучка вплоть до 400 нА.
• Более легкий захват деталей: Самый широкий спектр детектируемых сигналов благодаря технологии FEI Trinity
• Повышение удобства и уверенности: Высокий уровень автоматизации делает FEI Teneo легким в использовании и поощряет пользователей к экспериментам
• Настройте микроскоп под Ваши задачи: Гибкая конфигурация SEM позволяет легко настроить микроскоп под Ваши конкретные требования
• Получение изображения при высоком вакууме

При оптимальном WD:

• 0.8 нм при 30 кэВ STEM
• 1.0 нм при 15 кэВ
• 1.4 нм при 1 кэВ
• Пушка с полевой эмиссией Шотки высокой стабильности
• Срок службы источника 12 месяцев
• Простая установка пушки и легкое техническое обслуживание – автоматический прогрев, автозапуск, не требуется механических настроек
• Диафрагмы с автоматическим прогревом
• Непрерывный контроль за током пучка и оптимизация диафрагмы
• Двойное смещение столика при сканировании
• 600 геометрия линзы объектива
• Диапазон токов пучка: от 1 пА до 400 нА
• Энергия падающих частиц: от 20 эВ – 30 кэВ*
• Диапазон ускоряющих напряжений: 200 эВ – 30 кэВ